源液瓶
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源液瓶是用于儲(chǔ)存和傳輸高純度化學(xué)物質(zhì)(如前驅(qū)體、反應(yīng)源等)的容器,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、納米技術(shù)、化學(xué)氣相沉積(CVD)等領(lǐng)域。以下是關(guān)于源液瓶的詳細(xì)信息:定義與功能源液瓶(也稱為源瓶)主要用于儲(chǔ)存和傳輸高純度的液態(tài)或氣態(tài)化學(xué)品,這些化學(xué)品在半