科研系統(tǒng)工程
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超高潔凈系統(tǒng)工程(Ultra-CleanSystemsEngineering)指的是為滿足特定高潔凈度要求(如微粒、氣體污染物、濕度、溫度等)的環(huán)境與設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計、建設(shè)和管理。該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、制藥、航空航天、光學(xué)、精密制造等行業(yè)