真空腔體半導(dǎo)體
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真空腔體（VacuumChamber）是一個(gè)封閉的容器，其內(nèi)部被抽至較低的氣壓（即真空狀態(tài)）以進(jìn)行各種科學(xué)實(shí)驗(yàn)、工業(yè)加工或物理處理等操作。真空腔體通常由堅(jiān)固的金屬或其他高強(qiáng)度材料制成，并配有密封裝置、氣體抽取裝置和壓力監(jiān)控設(shè)備。其主要功能
