源液瓶是用于儲存和傳輸高純度化學(xué)物質(zhì)（如前驅(qū)體、反應(yīng)源等）的容器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、納米技術(shù)、化學(xué)氣相沉積（CVD）等領(lǐng)域。以下是關(guān)于源液瓶的詳細信息：

定義與功能

源液瓶（也稱為源瓶）主要用于儲存和傳輸高純度的液態(tài)或氣態(tài)化學(xué)品，這些化學(xué)品在半導(dǎo)體制造、納米技術(shù)和其他高技術(shù)工藝中起到關(guān)鍵作用。源液瓶的設(shè)計和制造需要滿足高純度、高安全性和耐腐蝕性的要求。

結(jié)構(gòu)與材料

源液瓶通常由高純度不銹鋼（如316L不銹鋼）制成，內(nèi)壁經(jīng)過精細拋光處理，以減少化學(xué)物質(zhì)的吸附和污染。瓶體通常包括以下幾個部分：

瓶體：用于容納化學(xué)物質(zhì)的主要部分。

進氣口和出氣口：用于連接外部管路，使化學(xué)物質(zhì)能夠進出瓶體。

閥門：用于控制化學(xué)物質(zhì)的流動，常見的閥門類型包括球閥和隔膜閥。

液位控制管：用于監(jiān)測和控制瓶內(nèi)液體的液位。

熱電偶管：用于檢測瓶內(nèi)化學(xué)物質(zhì)的溫度。

設(shè)計要點

源液瓶的設(shè)計需要考慮以下幾個要點：

高純度：瓶體和內(nèi)部組件需采用高純度材料，以避免污染化學(xué)物質(zhì)。

耐腐蝕性：選擇耐腐蝕的材料，以適應(yīng)不同化學(xué)性質(zhì)的工作介質(zhì)。

安全性：設(shè)計需要確保瓶體在高壓或高溫環(huán)境下的密封性和安全性。

維護便捷性：設(shè)計易于拆卸和清洗的結(jié)構(gòu)，便于日常維護和更換化學(xué)物質(zhì)。

應(yīng)用領(lǐng)域

源液瓶廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

半導(dǎo)體行業(yè)：用于儲存和傳輸用于化學(xué)氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）工藝的前驅(qū)體。

納米技術(shù)：用于儲存和傳輸高純度的納米材料。

化學(xué)研究：用于實驗室中高純度化學(xué)物質(zhì)的儲存和傳輸。

綜上所述，源液瓶憑借其獨特的結(jié)構(gòu)和優(yōu)異的性能，已成為許多高技術(shù)領(lǐng)域中不可或缺的重要組件。