CF盲法蘭-旋轉(zhuǎn)式是一種用于超高真空系統(tǒng)的關(guān)鍵部件,主要用于隔離和切斷系統(tǒng),同時(shí)具有旋轉(zhuǎn)功能,便于安裝和拆卸。以下是關(guān)于CF盲法蘭-旋轉(zhuǎn)式的詳細(xì)信息:
定義
CF盲法蘭-旋轉(zhuǎn)式是一種全金屬密封的法蘭,通過內(nèi)側(cè)刀口擠壓無氧銅墊圈(或其他軟金屬)實(shí)現(xiàn)高密封性的真空密封。它采用不銹鋼材料制成,能夠承受高溫烘烤,適用于超高真空/極高真空環(huán)境。
特點(diǎn)
全金屬密封:通過刀口擠壓無氧銅墊圈,確保高密封性。
高溫耐受:能夠承受高溫烘烤,適用于高溫環(huán)境。
旋轉(zhuǎn)功能:便于安裝和拆卸,提高操作靈活性。
材料:通常采用不銹鋼304L或316LN材質(zhì),具有良好的耐腐蝕性和機(jī)械性能。
應(yīng)用
CF盲法蘭-旋轉(zhuǎn)式廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:
超高真空系統(tǒng):用于隔離和切斷系統(tǒng),確保真空環(huán)境的密封性。
半導(dǎo)體制造:在真空鍍膜、刻蝕等工藝設(shè)備中使用。
光伏產(chǎn)業(yè):用于太陽能電池制造過程中的真空環(huán)境。
航空航天:用于太空模擬艙和真空測試設(shè)備。
科研實(shí)驗(yàn):在各類科學(xué)實(shí)驗(yàn)中用于創(chuàng)建和維持真空環(huán)境。
規(guī)格參數(shù)
CF盲法蘭-旋轉(zhuǎn)式有多種規(guī)格,常見的規(guī)格包括:
CF1.33"/CF16:外徑34 mm,孔數(shù)6,Bolt Holes Diameter 64.37 mm。
CF2.12"/CF25:外徑53.8 mm,孔數(shù)8,Bolt Holes Diameter 46.73 mm。
CF2.75"/CF35:外徑69.3 mm,孔數(shù)12,Bolt Holes Diameter 58.72 mm。
CF3.38"/CF50:外徑85.3 mm,孔數(shù)16,Bolt Holes Diameter 72.39 mm。
質(zhì)量控制
CF盲法蘭-旋轉(zhuǎn)式在出廠前通常經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量控制,包括氦質(zhì)譜儀撿漏和超高真空標(biāo)準(zhǔn)的清洗、清潔,以確保其完全滿足超凈間和超高真空使用要求。
綜上所述,CF盲法蘭-旋轉(zhuǎn)式在超高真空系統(tǒng)中具有廣泛的應(yīng)用,其高密封性、耐高溫和旋轉(zhuǎn)功能使其成為真空系統(tǒng)中的重要組成部分。
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