CF雙面法蘭是一種用于超高真空系統(tǒng)的關鍵連接元件，主要用于確保系統(tǒng)在不同管道連接處的高密封性和穩(wěn)定性。以下是關于CF雙面法蘭的詳細信息：

定義

CF法蘭，全稱Conflat Flange，是一種可拆卸的金屬靜密封法蘭，通常用于高真空和超高真空設備。CF雙面法蘭特指具有兩個連接面的法蘭，可以同時連接兩根管道，適用于需要高密封性的應用場景。

特點

全金屬密封：通過內(nèi)側(cè)刀口擠壓無氧銅墊圈實現(xiàn)高密封性。

材料：通常采用不銹鋼304或316材質(zhì)，具有良好的耐腐蝕性和機械性能。

溫度范圍：CF法蘭可以承受從-200°C到450°C的溫度范圍。

真空度：適用的真空度高達10^-13托。

應用

CF雙面法蘭廣泛應用于以下領域：

超高真空系統(tǒng)：用于連接和分配真空管道，確保系統(tǒng)的密封性。

半導體制造：在真空鍍膜、刻蝕等工藝設備中使用。

光伏產(chǎn)業(yè)：用于太陽能電池制造過程中的真空環(huán)境。

航空航天：用于太空模擬艙和真空測試設備。

科研實驗：在各類科學實驗中用于創(chuàng)建和維持真空環(huán)境。

綜上所述，CF雙面法蘭在超高真空系統(tǒng)中具有廣泛的應用，其高密封性、耐高溫和多樣化的規(guī)格使其成為真空系統(tǒng)中的重要組成部分。